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真空設備的一種。 羅茨泵是一種無內壓縮的真空泵，通常壓縮比很低，故高、中真空泵需要前級泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結構和制造精度外，還取決于前級泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度，可將羅茨泵串聯使用。 羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似。由于轉子的不斷旋轉，被抽...
關鍵字： 真空泵 分子泵 真空度
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